[发明专利]一种提高高压液压泵零件耐磨性的方法有效

专利信息
申请号: 201911044178.5 申请日: 2019-10-30
公开(公告)号: CN110629170B 公开(公告)日: 2022-06-21
发明(设计)人: 夏自祥;宋文龙;张璇;王首军 申请(专利权)人: 济宁学院
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32;C23C14/06;C23C14/02;C23C14/18;C23C14/35
代理公司: 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 代理人: 卢登涛
地址: 273100 *** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明属于液压泵制造技术领域,具体涉及一种提高高压液压泵零件耐磨性的方法。通过物理气相沉积技术进行表面渗碳及涂层处理以制备抗磨高压液压泵的方法,将碳化物涂层、PVD方法、渗碳技术以及多层复合结构的优点相结合,在碳化物涂层与工件基体间通过离子溅射的方法制备一个渗碳扩散层,即对零件表面先通过离子溅射的方法进行表面渗碳处理,然后再采用离子镀和磁控溅射复合方法沉积HfMoZrTiC/Mo多层复合涂层,以减缓涂层与基体材料的物理性能差异,提高基体材料的硬度,增强涂层与基体的附着性能,从而改善液压泵零件的耐磨性等综合性能,有效提高表面处理效率和工件的使用寿命。
搜索关键词: 一种 提高 高压 液压泵 零件 耐磨性 方法
【主权项】:
1.一种提高高压液压泵零件耐磨性的方法,其特征在于:液压泵零件基体经过淬火、高温回火、粗精加工后采用离子镀方法进行渗碳处理,然后再通过离子镀和磁控溅射复合方法沉积表面的HfMoZrTiC/Mo多层复合涂层,沉积时采用2个C离子镀靶,1个Hf磁控溅射靶,1个Mo磁控溅射靶,1个Zr磁控溅射靶和1个Ti磁控溅射靶;/n具体包括以下步骤:/n(1)零件加工:零件基体毛坯→淬火→高温回火→粗加工→半精加工→去应力回火→精加工;/n(2)零件表面预处理:采用金属清洗剂去除工件表面油污,漂洗烘干;/n(3)零件表面处理:将零件依次放入酒精和丙酮中,超声清洗各40min,去除表面杂质和其它附着物,干燥充分后迅速放入PVD复合镀膜机,抽真空至7.0×10
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