[发明专利]一种晶圆检测设备及晶圆检测方法

摘要

本发明提供晶圆检测方法及晶圆检测设备。检测设备包括第一扫描探头、第二扫描探头、图像生成单元以及图像处理单元，通过第一扫描探头对晶圆进行超声预扫描，探测晶圆的芯粒信息；第二超声扫描探头以芯粒信息为定位坐标对晶圆进行超声扫描，探测包括晶粒信息的晶圆的缺陷信息；图像处理单元与第一超声扫描探头连接，用于接收芯粒信息并通过芯粒信息对超声扫描进行定位。图像生产单元与第二超声扫描探头连接，接收缺陷信息并根据缺陷信息生成缺陷图。该缺陷图包括芯粒信息，使得后续的缺陷分析结果中包含晶圆的芯粒信息，检测结果达到芯粒级别，实现精细化量产检测。

主权项

1.一种晶圆检测设备，其特征在于，包括：第一超声扫描探头、第二超声扫描探头、图像生成单元以及图像处理单元，/n所述第一超声扫描探头用于以所述晶圆的缺口为定位坐标对所述晶圆进行超声预扫描，以探测所述晶圆的芯粒信息；/n所述第二超声扫描探头用于以所述芯粒信息为定位坐标对所述晶圆进行超声扫描，以探测所述晶圆的缺陷信息，所述缺陷信息包括所述晶粒信息；/n所述图像处理单元与所述第一超声扫描探头连接，用于接收所述芯粒信息并通过所述芯粒信息对所述超声扫描进行定位；/n所述图像生产单元与所述第二超声扫描探头连接，用于接收所述缺陷信息并根据所述缺陷信息生成所述晶圆的缺陷图。/n