[发明专利]一种高度测量装置有效
| 申请号： | 201911044472.6 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN110864657B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 赵应虎 | 申请（专利权）人： | 彩虹(合肥)液晶玻璃有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/02 | 分类号： | G01B21/02;G01B5/02 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 杨萌 |
| 地址： | 230000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明的实施例提供了一种高度测量装置，涉及半导体领域。高度测量装置包括测量组件、固定组件及按压组件，测量组件安装在固定组件上，按压组件与固定组件活动连接；按压组件的一端用于与产品接触，按压组件用于带动固定组件向靠近产品的安装平面的方向运动，其中，产品放置在安装平面上；测量组件用于当固定组件与安装平面接触时，测量产品的高度偏差。在本发明中，将产品放置在安装平面上后，推动按压组件即可测量产品的高度偏差，操作简单，产品放置在同一位置，提高了产品的高度偏差的测量精度及测量效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高度 测量 装置 | ||
【主权项】：
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