[发明专利]一种具有新型结构与材料的VOx选通管有效
| 申请号： | 201911046660.2 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN110911558B | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 童浩;林琪;王伦;缪向水 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 | 代理人： | 宋敏 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有新型结构与材料的VOx选通管，包括一第一金属电极层、一银导电介质层、一硫系材料层、一VOx材料层和一第二金属电极层；通过在VOx和底电极之间加一层硫系材料层和一银导电介质层，三者共同构成选通管器件的开关层，可以改善选通管的开关性能。在向选通管施加电压或电流激励的时候，银扩散进入硫系材料层，可以在硫系材料中形成导电丝，这样会使电流只流过导电丝，并抑制其它区域的电流，由于导电丝很细，可以局部加热VOx材料，使部分VOx材料发生金属态到绝缘态的转化，从而使选通管导通，这样可以使选通管的阈值电压或阈值电流显著降低，而且可以增大选通管的关态电阻，从而显著提高器件的开关比，并更好的抑制器件的漏电流。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 新型 结构 材料 vox 选通管 | ||
【主权项】：
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