[发明专利]基于环形芯光纤的高精度粗糙度测量装置有效
申请号: | 201911047046.8 | 申请日: | 2019-10-30 |
公开(公告)号: | CN110986836B | 公开(公告)日: | 2022-03-22 |
发明(设计)人: | 苑立波;权志强 | 申请(专利权)人: | 桂林电子科技大学 |
主分类号: | G01B11/30 | 分类号: | G01B11/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 541004 广西*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | 本发明提供的是基于环形芯光纤的高精度粗糙度测量装置包括激光器1、普通单模光纤2、光纤耦合器3、光功率计4‑1、4‑2、光纤环形器5、环形芯光纤6、聚焦物镜7、电荷耦合器件(CCD)8、计算机9。所述环形芯光纤6末端具有一定锥角,使得激光经环形芯光纤6传输后在光纤末端附近形成微小的聚焦光斑,实现高精度的表面粗糙度测量。本发明的优势一方面在于实现了入射光路与收集光路的集成,缩小了测量装置的尺寸;另一方面在于通过设计具有一定锥角的光纤末端结构,使得入射光汇聚成微小的聚焦光斑,提高了测量的空间分辨率。 | ||
搜索关键词: | 基于 环形 光纤 高精度 粗糙 测量 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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