[发明专利]改善尖端放电缺陷的方法及半导体器件的制造方法有效
| 申请号： | 201911047837.0 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN110767535B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 邹文 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;H01L29/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种改善尖端放电缺陷的方法及半导体器件的制造方法，所述改善尖端放电缺陷的方法包括：提供晶圆结构，所述晶圆结构具有器件区和包围所述器件区的边缘区；形成图案化的光刻胶层于所述晶圆结构上，所述图案化的光刻胶层暴露出部分的所述器件区且至少覆盖所述边缘区向外凸出的边棱；以及，以所述图案化的光刻胶层为掩膜，对所述晶圆结构进行刻蚀。本发明的技术方案使得晶圆结构的边缘区上的尖端放电缺陷得到改善，避免导致晶圆结构的器件区的损伤，从而使得产品良率得到提高。 | ||
| 搜索关键词： | 改善 尖端放电 缺陷 方法 半导体器件 制造 | ||
【主权项】：
1.一种改善尖端放电缺陷的方法，用于改善晶圆边缘的尖端放电缺陷，其特征在于，包括：/n提供晶圆结构，所述晶圆结构具有器件区和包围所述器件区的边缘区；/n形成图案化的光刻胶层于所述晶圆结构上，所述图案化的光刻胶层暴露出部分的所述器件区且至少覆盖所述边缘区向外凸出的边棱；以及，/n以所述图案化的光刻胶层为掩膜，对所述晶圆结构进行刻蚀。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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