[发明专利]一种基于电隔离磁阻应力敏感元件的氢气传感器在审
| 申请号： | 201911048138.8 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN110646502A | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 詹姆斯·G·迪克;周志敏 | 申请（专利权）人： | 江苏多维科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/72 | 分类号： | G01N27/72 |
| 代理公司： | 11332 北京品源专利代理有限公司 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215634 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种基于电隔离磁阻应力敏感元件的氢气传感器，包括：可变形基板；位于可变形基板上的磁阻应力传感器电桥、覆盖磁阻应力传感器电桥的电隔离层以及位于电隔离层上的磁屏蔽层；位于可变形基板上方的氢敏感层，氢敏感层在可变形基板所在平面的正投影覆盖电隔离层，氢敏感层用于吸附或脱附氢气以发生膨胀或收缩形变并引起可变形基板的应力变化，磁阻应力传感器电桥用于根据可变形基板的应力变化进行氢气浓度测量。本发明实施例，提高了氢气传感器的各项性能。 | ||
| 搜索关键词： | 可变形基板 磁阻 应力传感器 电隔离层 敏感层 电桥 氢气传感器 应力变化 氢气浓度测量 应力敏感元件 磁屏蔽层 所在平面 氢气 形变 电隔离 正投影 覆盖 脱附 吸附 收缩 膨胀 | ||
【主权项】：
1.一种基于电隔离磁阻应力敏感元件的氢气传感器，其特征在于，包括：/n可变形基板；/n位于所述可变形基板上的磁阻应力传感器电桥、覆盖所述磁阻应力传感器电桥的电隔离层以及位于所述电隔离层上的磁屏蔽层；/n位于所述可变形基板上方的氢敏感层，所述氢敏感层在所述可变形基板所在平面的正投影覆盖所述电隔离层，所述氢敏感层用于吸附或脱附氢气以发生膨胀或收缩形变并引起所述可变形基板的应力变化，所述磁阻应力传感器电桥用于根据所述可变形基板的应力变化进行氢气浓度测量。/n
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