[发明专利]一种基于激光自混合干涉的校准装置和自动化系统在审
申请号: | 201911048150.9 | 申请日: | 2019-10-30 |
公开(公告)号: | CN110672011A | 公开(公告)日: | 2020-01-10 |
发明(设计)人: | 孙丰;张宝峰;刘斌;朱均超;赵岩 | 申请(专利权)人: | 苏州赛腾精密电子股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 11332 北京品源专利代理有限公司 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 215168 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于激光自混合干涉的校准装置和自动化系统,该校准装置包括:承载单元,其预设定位区域用于承载并初步定位待定位物体,待定位物体朝向自混合干涉单元的一侧贴合设置反射片;自混合干涉单元:包括半导体激光器,发出初始光束,初始光束照射至反射片上,并被反射片反射形成反射光束,反射光束沿初始光束的反方向传输至半导体激光器,并与初始光束发生自混合干涉,形成反馈光束;光电接收器,接收反馈光束,并将反馈光束转换为电信号;信号放大单元接收并放大电信号;数据处理单元接收并处理被放大后的电信号,确定干涉条纹的数量,并在干涉条纹的数量小于或等于预设值时,确定待定位物体定位准确。如此,结构简单,定位准确。 | ||
搜索关键词: | 反射片 自混合 半导体激光器 反射光束 干涉单元 干涉条纹 反馈 数据处理单元 信号放大单元 放大电信号 光电接收器 激光自混合 自动化系统 承载单元 初步定位 定位准确 光束照射 光束转换 贴合设置 物体定位 校准装置 反方向 预设定 干涉 预设 反射 放大 承载 传输 | ||
【主权项】:
1.一种基于激光自混合干涉的校准装置,其特征在于,包括:承载单元、自混合干涉单元、信号放大单元以及数据处理单元;/n所述承载单元的预设定位区域用于承载并初步定位待定位物体,所述待定位物体朝向所述自混合干涉单元的一侧贴合设置反射片;/n所述自混合干涉单元包括半导体激光器和光电接收器;所述半导体激光器发出初始光束,所述初始光束照射至所述反射片上,并被所述反射片反射形成反射光束,所述反射光束沿所述初始光束的反方向传输至所述半导体激光器,并与所述初始光束发生自混合干涉,形成反馈光束;所述光电接收器位于所述半导体激光器的后向输出光路上,所述光电接收器接收所述反馈光束,并将所述反馈光束转换为电信号;/n所述信号放大单元用于接收并放大所述电信号;/n所述数据处理单元用于接收并处理被所述信号放大单元放大后的所述电信号,根据放大后的所述电信号确定干涉条纹的数量,并在干涉条纹的数量小于或等于预设值时,确定所述待定位物体定位准确。/n
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