[发明专利]试样全偏振二向反射分布测试装置及方法有效
| 申请号： | 201911049021.1 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN110702613B | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 杨迪;王雅萍;刘也;刘卿;战永红;曾嫦娥;朱肇坤;王放;张延鑫;李长亮 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军63921部队 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21 |
| 代理公司： | 北京航智知识产权代理事务所(普通合伙) 11668 | 代理人： | 黄川;史继颖 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 试样全偏振二向反射分布测试属于材料光学特性测试领域，现有的试样二向反射分布方法只能够对试样的强度二向反射分布或者偏振穆勒矩阵中的3个组元进行测试，其它13个组元无法进行测试。本发明涉及照射光源、载物台、分析仪组成的试样偏振二向反射分布的测量系统，以及载物台扫描控制流程和数据处理流程。照明光源为无偏光和数个偏振态的偏振光，照射在载物台上的被试品上；分析仪安装在载物台上的测量臂上，依据所述的扫描流程对被试品上半球空间的反射光数个偏振态光的亮度进行扫描；最后依据所述的数据处理流程对测量的数据进行处理，形成完备的16个组元的二向反射分布及分布函数。 | ||
| 搜索关键词： | 试样 偏振 反射 分布 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种试样全偏振二向反射分布测试装置，包括照射光源、载物台、分析仪，其特征在于所述的照明光源由可见光光源和激光光源组成，可输出无偏光和/或数个偏振态的偏振光，照射在载物台上的被试试样上；所述照射光源设计为大发散角和小发散角各1个，用于全覆盖试样和部分照射试样；所述载物台的测量臂可依据设定的扫描轨迹围绕试样进行上半球空间的二维扫描，扫描方式为高强度位置的精细扫描和低强度位置的粗略扫描，扫描方式为旋转摆扫；所述的分析仪为可对试样全偏振态的反射光进行测量，在照射光源和分析仪偏振态配合下，通过分析仪对被试试样的旋转摆扫，可实现试样材料的16元穆勒矩阵二向反射分布的测量。/n
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