[发明专利]基于波导结构的气体压强探测器及系统有效
申请号: | 201911049550.1 | 申请日: | 2019-10-31 |
公开(公告)号: | CN110631757B | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 苏州市东挺河智能科技发展有限公司 |
主分类号: | G01L11/02 | 分类号: | G01L11/02 |
代理公司: | 苏州吴韵知识产权代理事务所(普通合伙) 32364 | 代理人: | 王铭陆 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及基于波导结构的气体压强探测器及系统,具体而言,涉及气体压强测量领域。该气体压强探测器包括:腔体、第一柔性部、第二柔性部、第一金属部、第二金属部、光纤、活塞和填充剂;当气体压强探测器检测气体压强的时候,光纤内有入射光,将气体从设置有活塞的地方充入,使得该第一金属部挤压第一柔性部,第二金属部挤压第二柔性部,进而使得该光纤、活塞、第一金属部和第二金属部之间形成了一个密闭空间的长度变短,宽度增大,使得该密闭空间内的共振波长变短,通过该共振波长的变化情况与密闭空间体积的变化情况,可以得到该密闭空间体积的变化情况,通过该密闭空间体积变化情况与气体压强的对应关系,可以得到该待测气体的压强。 | ||
搜索关键词: | 基于 波导 结构 气体 压强 探测器 系统 | ||
【主权项】:
1.一种基于波导结构的气体压强探测器,其特征在于,所述气体压强探测器包括:腔体、第一柔性部、第二柔性部、第一金属部、第二金属部、光纤、活塞和填充剂;/n所述腔体为空腔,所述空腔内部相对的两个面位置设置有所述第一柔性部和所述第二柔性部,所述第一柔性部和所述第二柔性部相对的位置分别设置有所述第一金属部和第二金属部,所述第一金属部和所述第二金属部之间形成了一个通道,所述腔体在所述通道对应的位置上开设有两个孔,所述通道和所述两个孔形成贯通所述腔体的通孔,所述通孔的一端设置有所述活塞,所述通孔的另一端设置有所述光纤,所述光纤、所述活塞、所述第一金属部和所述第二金属部之间形成了一个密闭空间,所述密闭空间内部填充有所述填充剂。/n
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