[发明专利]一种基于金属檐结构的GaN基完全垂直肖特基变容管及其制备方法有效
| 申请号： | 201911051857.5 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN110808292B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 祁路伟;张德海;孟进 | 申请（专利权）人： | 中国科学院国家空间科学中心 |
| 主分类号： | H01L29/93 | 分类号： | H01L29/93;H01L29/872;H01L21/329 |
| 代理公司： | 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 | 代理人： | 陈琳琳;张红生 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种基于金属檐结构的GaN基完全垂直肖特基变容管及其制备方法，所述变容管的结构包括：硅衬底层，硅衬底层上由下往上依次为衬底保护层、键合层、欧姆金属层、n |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 金属 结构 gan 完全 垂直 肖特基变容管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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