[发明专利]差分干涉仪装置有效
| 申请号： | 201911052228.4 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN112747667B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 王宁;揭小军;邹泽华;凡顺利 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02015 | 分类号： | G01B9/02015 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种差分干涉仪装置，包括光源；第一分光棱镜，用于对入射光进行分光，以将所述入射光分为至少两条光束，第一分光棱镜具有相对的第一表面和第二表面；第一波片和第一反射镜，用于接收以第一方向从第一表面出射出的光束，第一方向为第一分光棱镜对于入射光的反射方向；第二波片和第二反射镜，用于接收以第二方向从第二表面出射出的光束；第三波片和测量镜，用于接收以第三方向从第二表面出射出的光束，以及，基于第一波片、第二波片、第三波片、第一反射镜和第二反射镜的设置，以使得至少两条光束均照射至所述测量镜上。本发明提供的差分干涉仪装置所占空间较少，成本较低，集成度较高，调试难度较低。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉仪 装置 | ||
【主权项】：
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