[发明专利]具有不同宽度的源极与漏极触点的半导体装置在审

专利信息
申请号: 201911054212.7 申请日: 2019-10-31
公开(公告)号: CN111129013A 公开(公告)日: 2020-05-08
发明(设计)人: 邱上轩;庄惠中;杨荣展;田丽钧 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L27/088 分类号: H01L27/088;H01L29/417
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国
地址: 中国台湾新竹市*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 一种具有不同宽度的源极与漏极触点的半导体装置包括基板中的主动区域。主动区域在第一方向上延伸。半导体装置进一步包括栅极结构,该栅极结构在与第一方向不同的第二方向上延伸。栅极结构跨主动区域延伸。半导体装置进一步包括多个源极/漏极触点,该多个源极/漏极触点在第二方向上延伸并且在栅极结构的相对侧上重叠主动区域中的多个源极/漏极区域。多个源极/漏极触点的第一源极/漏极触点具有第一宽度,并且多个源极/漏极触点的第二源极/漏极触点具有小于第一宽度的第二宽度。
搜索关键词: 具有 不同 宽度 触点 半导体 装置
【主权项】:
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