[发明专利]具有被动转子的机器人驱动器在审
| 申请号： | 201911054215.0 | 申请日： | 2012-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN110620473A | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | M·霍塞克;T·哈;C·霍夫迈斯特;D·普尔 | 申请（专利权）人： | 柿子技术公司 |
| 主分类号： | H02K7/00 | 分类号： | H02K7/00;H02K5/04;B65G49/06;H02K9/22 |
| 代理公司： | 11256 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 王莉莉 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种基板传送装置，其包括驱动部分以及第一可移动臂组件。驱动部分包括第一电机。第一电机包括定子与被动转子。第一可移动臂组件连接到第一电机。基板传送装置配置为以便第一可移动臂组件可定位在真空室中，被动转子与真空室内部的环境连通。 | ||
| 搜索关键词： | 可移动臂 基板传送装置 电机 被动转子 真空室内部 驱动 环境连通 组件连接 可定位 真空室 配置 | ||
【主权项】：
1.一种基板传送装置，包括：/n驱动部分，其包括第一电机，其中所述第一电机包括定子与被动转子；以及/n第一可移动臂组件，其连接到所述第一电机，/n其中所述基板传送装置配置为以便所述第一可移动臂组件可定位在真空室中，所述被动转子与所述真空室内部的环境连通。/n
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