[发明专利]一种适用于超高真空领域快速进样系统的样品停放装置在审

专利信息
申请号: 201911054289.4 申请日: 2019-10-31
公开(公告)号: CN110736851A 公开(公告)日: 2020-01-31
发明(设计)人: 赵嘉峰;高筱;谢斌平 申请(专利权)人: 费勉仪器科技(南京)有限公司;费勉仪器科技(上海)有限公司
主分类号: G01N35/10 分类号: G01N35/10
代理公司: 31253 上海精晟知识产权代理有限公司 代理人: 姜杉
地址: 210000 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种适用于超高真空领域快速进样系统的样品停放装置,用于解决现有技术中样品停放装置功能单一、停放数量少、操作繁琐、停放台材料放气严重的技术问题;样品停放台、支撑杆、支撑套筒、转接法兰和驱动装置;实施本发明的技术方案,每个样品停放台可放置六个样品托,提高工作效率;通过弹片固定样品托,操作便捷;使用可调的弹片固定样品托,使装置适用不同类型的样品托;使用耐高温低蒸气压材料的弹片,减少放气;设置线性驱动器和旋转驱动器,样品托位置调节灵活。
搜索关键词: 样品托 停放 弹片固定 停放装置 线性驱动器 旋转驱动器 材料放气 超高真空 工作效率 功能单一 进样系统 驱动装置 位置调节 支撑套筒 转接法兰 可调的 耐高温 蒸气压 支撑杆 弹片 放气 灵活
【主权项】:
1.一种适用于超高真空领域快速进样系统的样品停放装置,其特征在于,包括:样品停放台、支撑杆、支撑套筒、转接法兰和驱动装置;/n所述样品停放台固定至所述支撑杆;/n所述支撑套筒密封连接至所述转接法兰,所述支撑杆密封连接至所述转接法兰;/n所述驱动装置密封连接至所述转接法兰的一端,连接至所述支撑杆;/n所述样品停放台包括主体、成对设置的固定端和弹片;/n所述弹片可拆卸式固定至所述固定端,所述固定端边缘设置凹槽;/n所述固定端的数量为两个以上;/n所述驱动装置包括线性驱动装置和旋转驱动装置;/n所述线性驱动装置驱动所述支撑杆沿所述转接法兰的轴向移动;/n所述旋转驱动装置驱动所述支撑杆绕所述转接法兰的轴向旋转;/n所述转接法兰的另一端固定至真空。/n
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