[发明专利]一种单晶硅片背面减薄用砂轮及其制备方法有效
| 申请号： | 201911057003.8 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN110759734B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 史冬丽;马尧 | 申请（专利权）人： | 郑州伯利森新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/52 | 分类号： | C04B35/52;C04B35/622;C04B35/626;C04B38/06;B24D3/18;B24D18/00 |
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| 地址： | 450064 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶硅片背面减薄用砂轮及其制备方法，先把结合剂原材料溶解于去离子水中，再分别加入磨料、分散剂、单体、交联剂、引发剂,在一定的温度下形成凝胶，再经过干燥、煅烧形成结合剂包覆磨料的混合粉体。再分别加入造孔剂、润湿剂，制备成型料，冷压成型成具有一定形状的成型块，在一定温度下烧结，制成砂轮块。将砂轮块体进行精加工，然后经过粘结，制成硅片减薄砂轮。采用该方法制备的陶瓷结合剂砂轮具有结合剂对磨料的润湿性好、能够显著降低细粒度及超细粒度磨料的团聚、磨料在结合剂中的分散性好、砂轮对硅片的损伤层小等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 背面 减薄用 砂轮 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种硅片背面减薄砂轮的制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：/nSS1.将正硅酸乙酯、无水乙醇、去离子水在容器中水解，形成氧化硅水溶胶；/nSS2.将硝酸钠、硝酸钙、硝酸镁、硝酸锂、硝酸铝、硼酸溶解于水中，搅拌均匀后形成盐溶液；/nSS3.将步骤SS1制备的氧化硅水溶胶加入到步骤SS2制备的盐溶液中，搅拌均匀；/nSS4.将磨料、分散剂加入到步骤SS3制备的混合溶液中，超声分散均匀，形成悬浮液；/nSS5.将单体、交联剂、引发剂分别加入到步骤SS4制备的悬浮液中形成凝胶；/nSS6.将步骤SS5制备的凝胶在一定的温度下干燥，形成干凝胶；/nSS7.将步骤SS6制备的干凝胶在一定的温度下煅烧，形成陶瓷粉体；/nSS8.将步骤SS7制备的陶瓷粉体分别加入造孔剂、润湿剂，得到成型料；/nSS9.将步骤SS8制备的成型料冷压成型后，在一定的温度下烧结，形成具有一定形状的块体；/nSS10.将步骤SS9烧结的块体进行精加工，制成所需尺寸的砂轮块体；/nSS11.将步骤SS10的砂轮块粘结在基体上，制备成砂轮；/nSS12.将步骤SS11制备的砂轮进行精加工后得到成品。/n
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