[发明专利]用于指示测量装置探针位置的感应位置检测配置

摘要

用于扫描探头中的探针位置测量的感应式位置检测器(IPD)，其包括沿着中心轴线定位在探头中的线圈板配置，运动体积在线圈板配置的相对侧上延伸。线圈板配置包括N个顶部旋转感测线圈(RSCs)和顶部轴向感测线圈配置(ASCC)，以及N个底部RSC和底部ASCC。一对探针联接的导电扰动器在运动体积中沿Z(轴向)和X‑Y(旋转)方向移动。线圈板配置的产生线圈(GC)产生变化的磁通量(例如，包含所有或至少一部分扰动器)，并且线圈信号指示扰动器和/或探针位置。在一些实施方式中，导线扰动器的面积可以大于产生线圈的面积，且导电扰动器可以各自包括多个同心的导电回路、螺旋线等。