[发明专利]一种偏分式双波长调频连续波激光干涉仪

摘要

本发明提供一种偏分式双波长调频连续波激光干涉仪，可以实现光程差变化量的高精度绝对测量。具体技术方案是：使两个中心波长不同的调频连续波激光干涉子系统工作在不同的偏振态，采用一个光纤偏分器将两个子系统的光路合而为一，经过准直透镜准直后，同时检测同一个干涉腔；利用两个子系统对目标在参考位置和待测位置两次测量得到的干涉级尾数，计算出其中一个子系统待测位置相对于参考位置干涉级变化量的整数和尾数，从而得到相应光程差变化量的绝对值。本发明的优点是：可以实现光程差变化量的高精度绝对测量，无论是光程差快速变化、或者发生突变、或者在测量过程发生中断，都可以进行测量。