[发明专利]一种石英炉管浸洗式清洗方法有效
申请号: | 201911061467.6 | 申请日: | 2019-11-01 |
公开(公告)号: | CN110813936B | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
发明(设计)人: | 钱诚;李刚;李文亭 | 申请(专利权)人: | 江苏亚电科技有限公司 |
主分类号: | B08B9/02 | 分类号: | B08B9/02;B08B3/12 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 225300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请涉及一种石英炉管浸洗式清洗方法,通过控制石英炉管进入清洗液的开口朝向进行改变,使清洗液充分流入石英炉管内,防止直接浸入时石英炉管内壁产生气泡而无法进行完全的清洗。同时,石英炉管在浸洗时,仅需通过两侧固定臂的动作,调整石英炉管开口朝向,石英炉管的动作幅度较小,整个动作机构简单,降低了石英炉管动作时发生损坏的风险。 | ||
搜索关键词: | 一种 石英 炉管 浸洗 清洗 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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