[发明专利]一种光学偏折显微表面测量装置及方法

摘要

本发明公开了光学偏折显微表面测量方法，所述方法包括：采用三坐标测量设备对所述光学偏折显微表面测量装置的结构位置参数S进行测量标定；根据测量标定的结构位置参数S，计算所述变形条纹光信号的相位分布，所述变形条纹光信号包括待测元件微观面形轮廓特征信息；根据所述相位分布，获取所述待测元件微观表面对应的实际光斑分布；将所述实际光斑分布与一预设的理想光斑分布进行比较，得到所述待测元件的微观面形轮廓。相应的，本发明还公开了光学偏折显微表面测量装置。通过本发明实现了高精度、低成本、空间分辨率高、测量速度快的显微测量技术方案。

主权项

1.一种光学偏折显微表面测量装置，其特征在于，所述测量装置包括投影屏、分光棱镜、待测元件、显微物镜、成像透镜、CCD探测器和计算机，其中，所述待测元件置于所述分光棱镜的下方，所述投影屏设于所述分光棱镜的左侧并使二者平行，所述显微物镜、成像透镜和CCD探测器依次设于所述分光棱镜的上方，所述计算机产生一正弦条纹光信号，所述正弦条纹信号光经过所述分光棱镜投射至所述待测元件，经过所述待测元件的表面回返至所述分光棱镜，并经过所述显微物镜和成像透镜进行汇聚成一汇聚光束，所述汇聚光束在所述CCD探测器中呈现一变形条纹光信号，所述计算机对所述变形条纹光信号进行分析，获取所述待测元件的微观面形轮廓信息。/n