[发明专利]激光分离装置及其激光分离薄膜的方法在审
| 申请号： | 201911061960.8 | 申请日： | 2019-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN111085770A | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 王恺君 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/70;H01L51/00 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 李新干 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种激光分离装置及其激光分离薄膜的方法，激光分离装置包括激光光源、吸附器，用以吸附显示面板的基板，显示面板包括聚合物薄膜，其中，激光分离装置进一步包括:辅助分离薄片，用以沿着基板与聚合物薄膜接合的一侧推进以分离基板和聚合物薄膜；辅助吹风部件，配置于辅助分离薄片上方，用以对基板和聚合物薄膜之间进行吹风，以辅助分离基板和聚合物薄膜；其中，吸附器包括多个吸附头，可配合辅助分离薄片推进的方向，呈递进式依序吸附基板，以分离基板和聚合物薄膜，使得聚合物薄膜和基板的分离过程中，避免产生损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 分离 装置 及其 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
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