[发明专利]大口径光学元件面形拼接检测方法及设备在审
| 申请号： | 201911063054.1 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN110966954A | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 王孝坤;薛栋林;张学军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 孔祥贵 |
| 地址： | 130033 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开一种大口径光学元件面形拼接检测方法，包括步骤：根据待测光学元件的光学参数将待测光学元件划分成多个拼接的子孔径，并规划子孔径分布和拼接测量轨迹；激光干涉仪按照拼接测量轨迹依次测量全部子孔径，并获取各个子孔径的相位分布；确定基准子孔径，通过计算得出各子孔径相对于基准子孔径的最佳拼接因子；通过最佳拼接因子，将全部子孔径的相位分布数据校正统一到相同的基准上，以获得待测光学元件的全口径面形分布。将待测的大口径光学元件划分成多个子孔径，通过拼接的方式得出全口径面形分布，适用于不同类型的大口径光学元件，作为通用的检测方法与设备，提高适用性与检测精确度。本发明还公开一种应用上述方法的检测设备。 | ||
| 搜索关键词： | 口径 光学 元件 拼接 检测 方法 设备 | ||
【主权项】：
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