[发明专利]一种大颗粒金刚石的制备装置及其制备方法在审
| 申请号： | 201911063360.5 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN110616459A | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 王忠强;丁雄傑;王琦;张国义 | 申请（专利权）人： | 北京大学东莞光电研究院 |
| 主分类号： | C30B29/04 | 分类号： | C30B29/04;C30B25/00 |
| 代理公司： | 44412 东莞恒成知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 邓燕 |
| 地址： | 523808 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及金刚石制备技术领域，具体涉及一种大颗粒金刚石的制备装置及其制备方法，本发明的大颗粒金刚石的制备装置包括沉积腔体，还包括吹气单元、排气单元和等离子体单元，吹气单元设有进气管路，进气管路伸入沉积腔体一端设为喇叭状开口，并在喇叭状开口处设有若干个吹气小孔，本发明通过设置于喇叭状开口处的若干个吹气小孔吹出气流，使得进气管路内的气压大于沉积腔体内的气压，两者的压力差使得金刚石籽晶悬浮在进气管路喇叭状开口处上方并三维旋转，从而实现籽晶可以在三维方向均衡生长；本发明的制备方法，其工艺简单，制备效率高，且制得的大颗粒金刚石质量好，满足工业化的生产制造。 | ||
| 搜索关键词： | 喇叭状开口 进气管路 大颗粒金刚石 制备 沉积腔体 吹气单元 吹气小孔 制备装置 气压 等离子体单元 制备技术领域 金刚石籽晶 吹出气流 排气单元 三维方向 三维旋转 金刚石 沉积腔 压力差 伸入 籽晶 悬浮 均衡 体内 生长 制造 生产 | ||
【主权项】：
1.一种大颗粒金刚石的制备装置，包括沉积腔体，其特征在于，还包括吹气单元、排气单元和等离子体单元，吹气单元设有进气管路，进气管路一端伸入沉积腔体底端、并与沉积腔体连通，进气管路伸入沉积腔体一端设为喇叭状开口，并在喇叭状开口处设有若干个吹气小孔，排气单元设有排气管路，排气管路与沉积腔体顶端连通，等离子体单元与沉积腔体连接。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京大学东莞光电研究院，未经北京大学东莞光电研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911063360.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
