[发明专利]基于干涉原理的拼接镜面用边缘传感器及其工作方法有效
| 申请号： | 201911064429.6 | 申请日： | 2019-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN110779443B | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 张勇;张茜;倪季君;李烨平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/02;G01B9/02 |
| 代理公司： | 江苏致邦律师事务所 32230 | 代理人： | 栗仲平 |
| 地址： | 210042 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 基于干涉原理的拼接镜面用边缘传感器及其工作方法，特征是在被测拼接镜面的子镜拼缝上放置平晶或者球面透镜，其前表面完全增透，后表面设置镀膜；在被测拼接镜面的子镜和平晶或球面透镜的另一侧放置平行光源，其光线经过半透半反棱镜垂直入射到平晶或者球面透镜后表面一部分光束返回，另一部分经过子镜表面沿原路反射，两束反射光形成干涉条纹，经半透半反棱镜进入显微放大成像系统，用CCD或CMOS探测器进行靶面接受和数字化成像，即可处理处相邻子镜的拼接误差。本发明避免了星光和波前传感器占用和浪费光学系统的有限的高成像质量视场，价格便宜、性能稳定、不受环境因素影响。适用于各种光学拼接镜面的相邻子镜之间拼接误差检测。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 干涉 原理 拼接 镜面用 边缘 传感器 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于干涉原理的拼接镜面用边缘传感器，被测的各子镜镜面安装在支撑系统的桁架上，其特征在于，在所述被测拼接镜面的子镜拼缝上放置一个平晶或者球面透镜，所述平晶或者球面透镜前表面完全增透，其后表面按照一定的比例设置镀膜，以控制其后表面的透过率和反射率；在所述被测拼接镜面的子镜和平晶或球面透镜的另一侧放置一个平行光源，该平行光源的光线经过半透半反棱镜垂直入射到平晶或者球面透镜后表面，一部分光束返回，另一部分光束继续经过被测拼接子镜表面再沿原路反射回来，两束反射光之间有固定光程差，从而形成干涉条纹，经过半透半反棱镜后进入显微放大成像系统，在后接成像面用CCD或者CMOS探测器对条纹进行靶面高分辨接受和数字化成像，通过对高分辨条纹进行数字图像处理和推导即可处理处相邻子镜的拼接误差。/n
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