[发明专利]一种痕量气体浓度检测的光谱系统在审
申请号: | 201911068497.X | 申请日: | 2019-11-05 |
公开(公告)号: | CN111208072A | 公开(公告)日: | 2020-05-29 |
发明(设计)人: | 廉玉生;刘子龙;郭得民 | 申请(专利权)人: | 苏州智曜科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/31 | 分类号: | G01N21/31;G01N21/03 |
代理公司: | 中国兵器工业集团公司专利中心 11011 | 代理人: | 刘二格 |
地址: | 215228 江苏省苏州市吴江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种痕量气体浓度检测的光谱系统,光源发出的光线经准直后,形成不同角度的平行光,入射到光学吸收腔,在物镜和场镜之间进行多次折返,被光学吸收腔内气体吸收后的光线,入射至非对称三角共路结构的分束板上,入射至分束板的光线被1:1分为两路,一路由分束板透射至第一平面反射镜,经第一平面反射镜反射至第二平面反射镜,再经过第二平面反射镜反射至分束板,最后由分束板透射至会聚镜;另一路由分束板反射至第二平面反射镜,经第二平面反射镜反射至第一平面反射镜,再由第一平面反射镜反射至分束板,最后由分束板反射至会聚镜;会聚镜将两路光线会聚,并成像至线阵探测器上。本发明具有低成本、高通量、高信噪比的优势。 | ||
搜索关键词: | 一种 痕量 气体 浓度 检测 光谱 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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