[发明专利]一种晶硅电池制绒槽用辅助设备在审

申请号：	201911069772.X	申请日：	2019-11-05
公开（公告）号：	CN110752172A	公开（公告）日：	2020-02-04
发明（设计）人：	王兴明	申请（专利权）人：	常州启航能源科技有限公司
主分类号：	H01L21/67	分类号：	H01L21/67;H01L31/18
代理公司：	53113 昆明合众智信知识产权事务所	代理人：	张玺
地址：	213000 江***	国省代码：	江苏;32
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摘要：	本发明公开了一种晶硅电池制绒槽用辅助设备，包括排放区域、设备区域、电控区域以及设备区域内部设置的过滤器、分离罐和储液罐，所述设备区域下方设置有排放区域，设备区域内部安装有过滤器，分离罐侧面安装有上下连通的分离罐循环管，分离罐的溢流口通过带有第一电磁阀的分离罐溢流管与储液罐相连接，且储液罐的出液口通过带有第一控制阀的储夜罐出夜管连接第二磁力泵。该晶硅电池制绒槽用辅助设备，该装置可以减少换液周期，提高单槽的使用寿命，提高现有制绒设备产能；降低化学品的单耗的同时可以降低污水排放进而降低生产成本和污水处理成本。
搜索关键词：	分离罐设备区域储液罐过滤器辅助设备排放区域制绒槽污水处理成本第一电磁阀侧面安装电控区域晶硅电池内部安装内部设置上下连通使用寿命污水排放制绒设备出液口磁力泵管连接硅电池化学品控制阀循环管溢流管溢流口产能单槽换液种晶
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【主权项】：

1.一种晶硅电池制绒槽用辅助设备，包括排放区域(1)、设备区域(2)、电控区域(3)以及设备区域(2)内部设置的过滤器(17)、分离罐(12)和储液罐(6)，其特征在于：所述设备区域(2)下方设置有排放区域(1)，且设备区域(2)侧面设置有电控区域(3),设备区域(2)内部安装有过滤器(17)，且过滤器(17)的进液口通过第一磁力泵(18)与输料管道(21)相连接，过滤器(17)的出液口通过带有第二电磁阀(13)的输送管道(16)与分离罐(12)的进液口相连接，并且分离罐(12)的出液口连接带有第四电磁阀(31)的废料排放管道(32),分离罐(12)侧面安装有上下连通的分离罐循环管(15)，分离罐(12)的溢流口通过带有第一电磁阀(10)的分离罐溢流管(11)与储液罐(6)相连接，且储液罐(6)的出液口通过带有第一控制阀(4)的储夜罐出夜管(37)连接第二磁力泵(33)，且第二磁力泵(33)输出口连接带有第五电磁阀(35)的设备管(36)。/n

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H 电学

H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造

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