[发明专利]光掩模的保管箱有效
| 申请号： | 201911070920.X | 申请日： | 2019-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN111439468B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 李铉万 | 申请（专利权）人： | 全球株式会社 |
| 主分类号： | B65D25/10 | 分类号： | B65D25/10;B65D85/48;B65D81/05 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 刘兵;田宏 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及光掩模的保管箱，具体地说，涉及光掩模的保管箱，其包括：下框，其内部具有用于放置光掩模的支撑部；上框，其与下框连接；以及，固定部，其设置在下框的内侧边缘且用于固定被放置在下框的支撑部的光掩模；其中，固定部是在本体上利用螺栓部件将旋转罩部件向前后移动，此时压入到旋转罩部件的加压固定部件是在不旋转的状态前进，从而防止光掩模微粒的产生，并且在加压固定部件的前面形成曲面部，从而防止因加压固定部件的表面而在光掩模产生微粒。 | ||
| 搜索关键词： | 光掩模 保管箱 | ||
【主权项】：
暂无信息
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