[发明专利]一种椭偏仪装置及其检测方法有效
| 申请号： | 201911071769.1 | 申请日： | 2019-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN110702614B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 修鹏;郑崇;徐文斌;杨敏;刘菁;李军伟 | 申请（专利权）人： | 北京环境特性研究所 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京格允知识产权代理有限公司 11609 | 代理人： | 周娇娇 |
| 地址： | 100854*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种椭偏仪装置及其检测方法，其中装置包括依次设置的：飞秒激光器、第一聚焦透镜、光纤、准直透镜、起偏器、第一半透半反镜、二维扫描振镜机构、扫描透镜和高数值孔径物镜；该装置还包括测量单元；其中，飞秒激光器产生激光经第一聚焦透镜耦合到光纤中；激光从光纤出射后由准直透镜进行准直并进入起偏器；起偏器出射的激光透过第一半透半反镜进入二维扫描振镜机构，改变传播方向后依次经过扫描透镜和高数值孔径物镜照射在待检测物品；反射的激光依次经过高数值孔径物镜、扫描透镜和二维扫描振镜机构之后由第一半透半反镜反射到测量单元，以确定椭偏参数。本发明能够测量不同反射角、方位角、温度、波长条件下样品的偏振反射特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 椭偏仪 装置 及其 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种椭偏仪装置，其特征在于，包括依次设置的：飞秒激光器、第一聚焦透镜、光纤、准直透镜、起偏器、第一半透半反镜、二维扫描振镜机构、扫描透镜和高数值孔径物镜；所述椭偏仪装置还包括测量单元；其中，/n所述飞秒激光器产生激光经第一聚焦透镜耦合到光纤中；激光从光纤出射后由准直透镜进行准直并进入起偏器；/n起偏器出射的激光透过第一半透半反镜进入二维扫描振镜机构，改变传播方向后依次经过扫描透镜和高数值孔径物镜照射在待检测物品；/n待检测物品反射的激光依次经过高数值孔径物镜、扫描透镜和二维扫描振镜机构之后由第一半透半反镜反射到测量单元，所述测量单元获取激光光强以确定椭偏参数。/n
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