[发明专利]一种新型连续打拿极的制作方法在审
| 申请号： | 201911073450.2 | 申请日： | 2019-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN112768327A | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 王玉漫 | 申请（专利权）人： | 王玉漫 |
| 主分类号： | H01J9/12 | 分类号： | H01J9/12;H01J43/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100049 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型连续打拿极的制作方法，属于电学器件领域，目前的连续大拿极的本底信号比较高，离子反馈比较高，本发明通过设计弯曲的通道结构用双光子光刻和热诱导收缩3D打印，再通过原子层沉积技术在通道壁上制备电导层和发射层，最后通过高真空电阻蒸发镀膜在通道口处制备电极薄膜。新型连续打拿极可以任意设计通道口径大小，弯曲的形状，集成度；可以更换不同的电导层材料，可以任意的调整电导层电导的大小；可以更换更高更稳定的的二次发射系数的材料作为发射层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 连续 打拿极 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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