[发明专利]剥离方法在审

专利信息
申请号: 201911075982.X 申请日: 2019-11-06
公开(公告)号: CN111180391A 公开(公告)日: 2020-05-19
发明(设计)人: 小柳将 申请(专利权)人: 株式会社迪思科
主分类号: H01L21/78 分类号: H01L21/78;H01L21/683;H01L27/15;B23K26/50
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 沈娥;褚瑶杨
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供一种剥离方法,在不会带来损伤的情况下将以分割的状态载置在基板上的光器件层移设至移设部件。该剥离方法包括下述步骤:缓冲层形成步骤,在基板的正面上形成缓冲层;光器件层形成步骤,在该缓冲层上形成光器件层;分割步骤,在该基板的正面上将该缓冲层和该光器件层按照各个器件进行分割;移设部件接合步骤,在该光器件层的正面接合移设部件;缓冲层破坏步骤,使具有对于该基板来说为透过性、对于该缓冲层来说为吸收性的波长的脉冲激光从该基板的背面侧透过该基板而照射至该缓冲层,破坏该缓冲层;以及光器件层移设步骤,将该光器件层移设至移设部件,该缓冲层破坏步骤中,该脉冲激光每一次脉冲的能量密度为1.0mJ/mm2以上5.0mJ/mm2以下。
搜索关键词: 剥离 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社迪思科,未经株式会社迪思科许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201911075982.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top