[发明专利]一种利用扫描探针探测材料介电常数的方法有效
| 申请号： | 201911079283.2 | 申请日： | 2019-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN110672882B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 许杰;陈剑锋;陈龙;于天祺;蔡远凌云 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | G01Q60/00 | 分类号： | G01Q60/00;G01R27/26 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 曹坤 |
| 地址： | 210046 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用扫描探针显微技术探测材料介电常数的方法。本发明包括如下步骤：首先，利用静电力显微镜的电场梯度探测获得探针与试样间电容梯度的实验值；然后利用镜像电荷法建立探针试样间电容随试样介电常数变化的理论模型；最后将实验值与理论模型进行比较，推断出试样的介电常数。本发明能够获知试样在纳米尺度下的介电常数信息，且具有无损伤探测的优点，适用于各种电介质如绝缘体或半导体等材料的表征。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 扫描 探针 探测 材料 介电常数 方法 | ||
【主权项】：
1.一种利用扫描探针显微技术探测材料介电常数的方法，其特征在于，包括如下步骤：/n(1)、利用静电力显微镜：在直流偏压下，保持探针与样品的间距z不变，探测探针共振频率的偏移量Δf，并据此计算得出探针与样品间电容的二阶导数d
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