[发明专利]阀控制装置以及真空阀有效
| 申请号： | 201911079529.6 | 申请日： | 2019-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN111609200B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 小崎纯一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F16K31/04 | 分类号： | F16K31/04;F16K3/06;F16K51/02 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 薛恒;王琳 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种阀控制装置，其可在切换成反馈控制后，使腔室压力迅速地朝目标压力收敛。阀控制装置(2)包括：设定压力生成部(20)，生成设定压力(Pset1)；以及开度控制部(21)，根据目标压力(Ps)来进行作为第一开度控制的打开控制，在第一开度控制之后，进行根据设定压力(Pset1)与真空腔室的压力(Pr)的差(ε)来实施反馈控制的第二开度控制；设定压力生成部(20)根据以规定的时间常数，从自第一开度控制向第二开度控制的切换时的真空腔室的压力朝目标压力(Ps)收敛的设定压力轨道，生成设定压力(Pset1)。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 装置 以及 真空 | ||
【主权项】：
暂无信息
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