[发明专利]一种过渡金属氮化物核壳结构薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201911080786.1 | 申请日： | 2019-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN112779509A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 杜淼;郝雷;米菁;于庆河;李世杰;李帅 | 申请（专利权）人： | 有研工程技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青 |
| 地址： | 101407 北京市怀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种过渡金属氮化物核壳结构薄膜及其制备方法。该过渡金属氮化物核壳结构薄膜包括过渡金属氮化物与陶瓷层，所述陶瓷层包覆在过渡金属氮化物表面，形成过渡金属氮化物为核、陶瓷层为壳的核壳结构；所述过渡金属氮化物为副族金属元素形成的氮化物；所述的陶瓷层为Al |
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| 搜索关键词： | 一种 过渡 金属 氮化物 结构 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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