[发明专利]一种DLC连续镀膜生产线及镀膜工艺在审
| 申请号： | 201911080926.5 | 申请日： | 2019-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN110699655A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 祝海生;陈立;唐洪波;唐莲;薛闯;金诚明;凌云;孙桂红;梁红;黄国兴;黄乐 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54;C23C14/06;C23C14/56 |
| 代理公司： | 31253 上海精晟知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张超宇;冯子玲 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种DLC连续镀膜生产线，包括呈直线依次连接的进口室、进口缓冲室、进口过渡室、第一工艺室组、隔离室、第二工艺室组、出口过渡室、出口缓冲室和出口室，形成连通的直线通道，以及和所述直线通道平行间隔布置的回架组，所述第一工艺室组和第二工艺室组分别包括多个工艺室，所述回架组包括多个依次衔接的回架。基于上述生产线的DLC镀膜生产工艺，包括两个依次进行、运行方向相反的流程，基片在各个工艺室依次镀膜。本发明的同一生产线上设有不同阴极设备，可在同一生产线上进行多层、连续镀膜，设有回架，通过同一传送机构进行基片传送，实现装载、卸载基片，回架结构简单有效。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺室 同一生产线 直线通道 过渡室 缓冲室 连续镀膜生产线 平行间隔布置 运行方向相反 传送机构 基片传送 连续镀膜 依次连接 阴极设备 出口室 隔离室 架结构 进口室 镀膜 多层 卸载 生产工艺 进口 连通 出口 装载 衔接 | ||
【主权项】：
1.一种DLC连续镀膜生产线，其特征在于，包括呈直线依次连接的进口室、进口缓冲室、进口过渡室、第一工艺室组、隔离室、第二工艺室组、出口过渡室、出口缓冲室和出口室，形成连通的直线通道，以及和所述直线通道平行间隔布置的回架组，所述第一工艺室组和第二工艺室组分别包括多个工艺室，所述回架组包括多个依次衔接的回架，所述生产线还包括前平移台和后平移台，前平移台和后平移台分别位于所述直线通道的两端，同时分别位于回架组的两端。/n
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