[发明专利]一种金属双极板高导电耐蚀防护涂层及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 201911080939.2 | 申请日： | 2019-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN110684946B | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 李昊;汪爱英;张栋;柯培玲;刘林林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/35;C23C14/06;C23C14/02;H01M8/0228 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金属双极板高导电耐蚀防护涂层及其制备方法与应用。所述金属双极板高导电耐蚀防护涂层的制备方法包括：以铬靶为靶材，采用高功率脉冲磁控溅射技术在所述金属双极板表面沉积铬过渡层；以及，以石墨靶为靶材，采用直流磁控溅射技术在所述铬过渡层表面沉积非晶碳层，获得金属双极板高导电耐蚀防护涂层；其中，所述直流磁控溅射技术采用的工艺条件包括：溅射源中心磁场强度为40～60mT，边缘磁场强度为10～20mT，电源功率为0.8～1.0kW。本发明提供的铬过渡层表面光滑内部结构致密，可以有效提高膜基结合强度；同时通过优化非晶碳层的制备工艺，使得非晶碳层兼具良好的导电性以及优异的耐蚀性，能够实现对金属双极板的长效防护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 极板 导电 防护 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种金属双极板高导电耐蚀防护涂层的制备方法，其特征在于包括：/n提供金属双极板；/n以铬靶为靶材，采用高功率脉冲磁控溅射技术在所述金属双极板表面沉积铬过渡层；/n以及，以石墨靶为靶材，采用直流磁控溅射技术在所述铬过渡层表面沉积非晶碳层，获得金属双极板高导电耐蚀防护涂层；/n其中，所述直流磁控溅射技术采用的工艺条件包括：溅射源中心磁场强度为40～60mT，边缘磁场强度为10～20mT，电源功率为0.8～1.0kW。/n
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