[发明专利]一种微透射元件多面形大动态范围同步测量方法

摘要

本发明提供一种微透射元件多表面面形同步检测方法，涉及测量技术领域。利用逆向哈特曼光路检测装置，使用计算机建立的模型化检测系统，测得待测微透射元件波像差，基于光线追迹法对微透射元件模型各表面面形误差进行迭代优化求解，获得相应的重构待测微透射元件波像差，通过优化重构待测微透射元件波像差使之与实测待测微透射元件波像差的偏差最小，最终重构出待测透射元件的实际各表面面形。本发明解决了现有技术中对微小透射元件多表面的测量实现难度较大、空间分辨率较低、检测精度较低、动态范围较小以及无法同步测量多表面的技术问题。本发明有益效果为：为微透射元件多表面面形同步检测提供了一种高精度大动态范围的检测方法。

主权项

1.一种微透射元件多面形大动态范围同步测量方法，其特征在于，包括以下步骤：/n建立基于显微相位偏折法的逆哈特曼光学检测系统，所述检测系统包括投影屏、分光棱镜、待测微透射元件、标准平面镜、显微物镜、成像透镜、CCD探测器和计算机；/n通过系统参数标定获得所述检测系统的结构位置参数S；/n依据所述结构位置参数S，在计算机中建立模型化检测系统，通过光线追迹法，模拟并获得所述模型化检测系统中无加工误差的理想待测微透射元件表面上点投影在CCD探测器中的理想光斑分布；/n使用计算机生成x方向与y方向的四步90°移相正弦直条纹，并在投影屏上显示，所述CCD探测器采集透过所述待测微透射元件、显微物镜和成像透镜的条纹光线，采用四步相移法，通过相位解包裹和相位展开法求解CCD探测器采集的条纹对应的相位分布，并得到与相位对应的待测微透射元件透射表面上的点投影在CCD探测器中的实际光斑分布，计算理想光斑分布与实际光斑分布之差得光线像差(Δε