[发明专利]一种卧式真空镀膜生产线用基片运输传动装置有效
| 申请号： | 201911081698.3 | 申请日： | 2019-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN110643968B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 祝海生;陈立;孙桂红;梁红;黄国兴;黄乐;唐洪波;唐莲 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 湖南乔熹知识产权代理事务所(普通合伙) 43262 | 代理人： | 安曼 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种卧式真空镀膜生产线用基片运输传动装置，所述运输传动装置包括载架、载盘和呈镜像对称的两平衡传动组件，所述平衡传动组件包括顺次连接的轴座、摆动轴和方形导杆，所述摆动轴的A端与轴座非固定连接，所述摆动轴的B端安装在方形导杆上，所述轴座通过摆动轴相对于方形导杆摆动，所述两平衡组件的轴座对称安装于载架两侧。本发明提供的卧式真空镀膜生产线用传动装置可减小基片架在运输途中的振动，使基片架持续处于水平状态，从而避免在运输过程中因左右不对称而造成“转向”，达到匀速前进的状态，可满足真空镀膜腔室内匀速无尘运输的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 卧式 真空镀膜 生产线 用基片 运输 传动 装置 | ||
【主权项】：
1.一种卧式真空镀膜生产线用基片运输传动装置，其特征在于，所述运输传动装置包括载架(1)、载盘(2)和呈镜像对称的两平衡传动组件，所述平衡传动组件包括顺次连接的轴座(4)、摆动轴(3)和方形导杆(5)，所述摆动轴(3)的A端与轴座(4)非固定连接，所述摆动轴(3)的B端安装在方形导杆(5)上，所述轴座(4)通过摆动轴(3)相对于方形导杆(5)摆动，所述两平衡组件的轴座(4)对称安装于载架(1)两侧。/n
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