[发明专利]一种超耐磨的硬质碳基涂层在审
| 申请号： | 201911082344.0 | 申请日： | 2019-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN110670018A | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 史旭;唐智 | 申请（专利权）人： | 纳峰真空镀膜(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/06;C23C16/06;C23C16/32;C23C16/26 |
| 代理公司： | 11395 北京恒都律师事务所 | 代理人： | 李向东 |
| 地址： | 201703 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 基材上镀有多层膜，由以下顺序排列组成：(i)由ta‑C组成的第一功能层；(ii)由ta‑C组成的第二功能层；(iii)(a)由ta‑C组成的第三功能层和包含一种基本元素碳化物的第一过渡层或者(b)由一种基本元素碳化物组成的第一过渡层和由一种基本元素组成的第二过渡层；其中ta‑C涂层中氢含量少于10%并且sp | ||
| 搜索关键词： | 功能层 过渡层 基本元素 杨氏模量 碳化物 涂层顺序 多层膜 基材 | ||
【主权项】：
1.一种镀有多层膜层的基材，按以下顺序包括：/n(i)含有ta-C的第一功能层；/n(ii)含有ta-C的第二功能层；/n(iii) (a) 含有ta-C的第三功能层和包含一种基本元素碳化物的第一过渡层或者(b) 包含一种基本元素碳化物的第一过渡层和包含一种基本元素的第二过渡层；/n其中ta-C涂层中氢含量少于10%并且sp
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于纳峰真空镀膜(上海)有限公司，未经纳峰真空镀膜(上海)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911082344.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
