[发明专利]一种根据基板尺寸自动校准机台参数的方法及装置有效
| 申请号： | 201911083032.1 | 申请日： | 2019-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN110763138B | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 刘泽聪 | 申请（专利权）人： | 苏州精濑光电有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215125 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种根据基板尺寸自动校准机台参数的方法及装置。所述方法包括：建立直角坐标系；根据各图像采集装置的第一坐标，以及将基板放置于滑台上后，基板上至少一个标记点的第二坐标，计算将各标记点移动至对应图像采集装置的拍摄范围内时，滑台需移动的第一位移、各运动部分别需移动的第二位移，以及移动后各标记点分别对应的第三坐标；根据第三坐标和各标记点分别对应的移动终点在直角坐标系中的第四坐标，计算将各标记点移动至对应的移动终点时，滑台需移动的第三位移；根据第三位移计算将各标记点移动至对应的移动终点时，各轴马达分别需移动的第四位移，校准对应的机台参数。本发明实施例提供的技术方案，实现机台参数的自动校准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 根据 尺寸 自动 校准 机台 参数 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种根据基板尺寸自动校准机台参数的方法，所述机台包括承载所述基板的滑台、驱动所述滑台移动的至少一轴马达，以及至少一个图像采集模块，所述图像采集模块包括运动部以及安装于所述运动部上的图像采集装置，其特征在于，包括：/n以所述滑台的几何中心为原点，以所述滑台相邻设置且延伸方向相互垂直的两条边的延伸方向为X轴和Y轴的延伸方向，建立直角坐标系；/n获取各所述图像采集装置在所述直角坐标系中的第一坐标，以及将所述基板放置于所述滑台上后，所述基板上至少一个标记点在所述直角坐标系中的第二坐标，所述标记点与所述图像采集模块一一对应；/n根据所述第一坐标和所述第二坐标，计算将各所述标记点移动至对应所述图像采集装置的拍摄范围内时，所述滑台需移动的第一位移、各所述运动部分别需移动的第二位移，以及移动后各所述标记点分别对应的第三坐标；/n获取各所述标记点分别对应的移动终点在所述直角坐标系中的第四坐标；/n根据所述第三坐标和所述第四坐标，计算将各所述标记点移动至对应的所述移动终点时，所述滑台需移动的第三位移；/n根据所述第三位移计算将各所述标记点移动至对应的所述移动终点时，各轴所述马达分别需移动的第四位移；/n根据所述第一位移、所述第二位移、所述第三位移以及所述第四位移校准对应的机台参数。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州精濑光电有限公司，未经苏州精濑光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911083032.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
