[发明专利]一种恒定电场应力偏压温度不稳定性的测试方法和装置有效

专利信息
申请号: 201911085878.9 申请日: 2019-11-08
公开(公告)号: CN110988639B 公开(公告)日: 2022-05-03
发明(设计)人: 高汭;雷登云;林晓玲;章晓文;贺致远;陈义强 申请(专利权)人: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26
代理公司: 华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 石慧
地址: 511300 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种恒定电场应力偏压温度不稳定性的测试方法和装置。所述方法包括:根据预设时长,对待测器件施加应力电压;在对所述待测器件施加应力电压过程结束后,对所述待测器件施加扫描电压,并实时采集所述待测器件的漏电流和所述扫描电压,根据所述扫描电压和所述漏电流确定所述待测器件的当前阈值电压;根据所述当前阈值电压以及初始阈值电压,确定所述待测器件的当前阈值漂移量;判断施加所述应力电压的次数是否达到预设次数;当判定施加所述应力电压的次数小于所述预设次数时,根据在所述当前阈值漂移量调整所述应力电压;对所述待测器件施加调整后的所述应力电压并维持所述预设时长,然后返回至对所述待测器件施加所述扫描电压的步骤。
搜索关键词: 一种 恒定 电场 应力 偏压 温度 不稳定性 测试 方法 装置
【主权项】:
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