[发明专利]气体激光装置及激光振荡方法在审
| 申请号： | 201911087506.X | 申请日： | 2019-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN111326942A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 河村让一;田中研太;万雅史;冈田康弘 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/041 | 分类号： | H01S3/041;H01S3/00;H01S3/03 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够提高光束点的位置精度并且能够抑制效率的下降的气体激光装置。所述气体激光装置在激光气体进行循环的循环流路的一部分(即，放电区域)产生放电从而输出激光束。热交换器对在循环流路中循环的激光气体进行冷却。温度传感器测定从热交换器流向放电区域的激光气体的温度。控制装置根据温度传感器的温度测定值控制热交换器的冷却能力，以使温度传感器的测定值成为30℃以下的目标温度。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 激光 装置 振荡 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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