[发明专利]一种提高曝光机精准焦距的方法在审

专利信息
申请号: 201911088927.4 申请日: 2019-11-08
公开(公告)号: CN110764377A 公开(公告)日: 2020-02-07
发明(设计)人: 韩少华;王健;孙彬;沈洪;李晓华 申请(专利权)人: 江苏上达电子有限公司
主分类号: G03F9/00 分类号: G03F9/00;G03F1/42
代理公司: 32220 徐州市三联专利事务所 代理人: 何君
地址: 221300 江苏省徐州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种提高曝光机精准焦距的方法,该方法为:在玻璃底片上将此图形设置成曝光机的标记图形,曝光时,曝光机的光会将标记图形投影至产品上的对位形状上,通过标记图形投影中心和产品上对位形状中心的重合,来完成对位。图形中采用了多个角的设计和多条平行线段的设计,可快速精准的抓取到图形的中心,多条平行线段可以根据产品上的对位形状的尺寸进行设计平行线段数量,使精准焦距图形的平行线段数量中间那根线段的中心对应产品上对位形状的中心,使其可快速准确的重叠焦距图形中心和产品对位形状的中心。采用此种焦距图形,可以避免玻璃底片图形因蚀刻原因造成的图形不完整而降低对位精度。
搜索关键词: 对位 平行线段 焦距 标记图形 曝光机 玻璃底片 蚀刻 线段 抓取 快速精准 投影中心 图形设置 图形中心 形状中心 重合 投影 曝光
【主权项】:
1.一种提高曝光机精准焦距的方法,其特征在于,该方法为:在玻璃底片上将此图形设置成曝光机的标记图形,曝光时,曝光机的光会将标记图形投影至产品上的对位形状上,通过标记图形投影中心和产品上对位形状中心的重合,来完成对位;其中,标记图形中采用了多个角的设计,可快速精准的抓取到图形的中心。/n
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