[发明专利]一种可应用于室温高湿环境下的纳米硅传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种可应用于室温高湿环境下的纳米硅传感器及其制备方法，采用金属辅助化学刻蚀法制备垂直排列的光滑硅纳米线阵列并去除Ag颗粒，然后在硅纳米线阵列表面涂覆AgNO3进行纳米Ag颗粒修饰，之后利用吡咯单体在纳米线表面包裹聚吡咯。本发明的纳米银和聚吡咯双重修饰的硅纳米线在室温和80％的相对湿度下对200ppb氨气有精确探测作用，对800ppb氨气的响应约为1.3倍，对5000ppb氨气响应约为2.7倍，对15000ppb氨气响应约为5倍，在肾病呼出气的待测范围内(820‑14700ppb，ESRD平均值为4880ppb)，可以实现对患病与否的测量，可应用于早期肾病的检测诊断。