[发明专利]一种模拟型HfOx 有效
| 申请号： | 201911090016.5 | 申请日： | 2019-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN110911559B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 孙华军;田宝毅;缪向水 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00;H01L21/66;G11C29/50;G11C13/00 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 许恒恒;李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： |
本发明属于微电子器件技术领域，公开了一种模拟型HfO |
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| 搜索关键词： | 一种 模拟 hfo base sub | ||
【主权项】：
暂无信息
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