[发明专利]清扫装置及清扫方法在审
| 申请号： | 201911090136.5 | 申请日： | 2019-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN110813908A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 陈伟;朱亮;柳小敏 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00;H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种清扫装置及清扫方法，所述清扫装置包括吹扫单元、驱动单元和支架。所述吹扫单元包括一喷气头，所述喷气头用于喷出气体来吹扫静电吸盘。所述驱动单元包括第一驱动部件和第二驱动部件，分别设置于支架的两端，第一驱动部件与吹扫单元相连接。当第二驱动部件驱动支架自转至工作位置时，喷气头到达工作位置并喷出气体。第一驱动部件驱动吹扫单元以与第一驱动部件的连接点为圆心，喷气头的长度为半径进行周向运动，直至达到吹扫的设定时间后，喷气头停止喷气，第二驱动部件驱动支架转回至初始位置。整个清扫过程暂用机时较短，不影响机台的正常作业，可实现不开腔的自动清扫，不仅降低机台报警率，而且提高工作效率，避免经济损失。 | ||
| 搜索关键词： | 清扫 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司，未经上海华力微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911090136.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种隧道竖井的开挖方法
- 下一篇：浮栅回刻的深度的测试方法
