[发明专利]飞秒激光微加工的同步监测装置在审
| 申请号： | 201911091781.9 | 申请日： | 2019-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN111992871A | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 蒋习锋;王明利 | 申请（专利权）人： | 济南金威刻科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/70 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 250101 山东省济南市高*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了飞秒激光微加工的同步监测装置，属于飞秒激光微加工的监测领域。飞秒激光微加工的同步监测装置，包括调节底座，所述调节底座上设置有加工件，所述调节底座位于飞秒激光器一侧，所述调节底座上固定连接有第一驱动电机，所述第一驱动电机驱动端固定连接有第一驱动轴，所述第一驱动轴上固定连接有第一齿轮盘，所述加工件位于第一齿轮盘中心处，所述调节底座上通过转轴转动连接有传动齿轮；本发明通过监测用的CCD与加工件始终处于垂直状态，同时为了确保监测用的CCD准确对准加工件的加工位置，保持进行倾斜入射加工时的监测效果和垂直入射加工的监测效果相同，自动调整一气呵成，进行自动精确调整，确保了监测效果。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 同步 监测 装置 | ||
【主权项】：
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