[发明专利]步进电机的位置校准装置、射频匹配器及半导体设备有效
| 申请号： | 201911092281.7 | 申请日： | 2019-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN110768596B | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 刘建生;张磊 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H02P8/38 | 分类号： | H02P8/38;H02K11/22;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 李秋华 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可变电容步进电机的位置校准装置、射频匹配器及半导体设备，该可变电容步进电机的位置校准装置包括：校准组件，设置在所述步进电机的转轴上，随所述转轴同轴旋转，且所述校准组件上设置有用于标识所述转轴的单位旋转角度的标识结构，所述单位旋转角度等于所述步进电机的步距角；测控单元，用于检测所述标识结构，根据检测结果生成位移脉冲信号，并根据所述位移脉冲信号确定所述步进电机的位置。通过本发明，提高了匹配器的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 步进 电机 位置 校准 装置 射频 配器 半导体设备 | ||
【主权项】：
1.一种可变电容步进电机的位置校准装置，其特征在于，包括：/n校准组件，设置在所述步进电机的转轴上，随所述转轴同轴旋转，且所述校准组件上设置有用于标识所述转轴的单位旋转角度的标识结构，所述单位旋转角度等于所述步进电机的步距角；/n测控单元，用于检测所述标识结构，根据检测结果生成位移脉冲信号，并根据所述位移脉冲信号确定所述步进电机的位置。/n
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