[发明专利]溅射装置有效
| 申请号： | 201911094111.2 | 申请日： | 2019-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN110923642B | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 李默林 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 郑裕涵 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种溅射装置，包括：腔室；基座，设置于腔室内，用于承载待加工工件；溅射机构，设置于腔室上，溅射机构用于待加工工件的溅射工艺；顶针机构，设置于腔室内，顶针机构用于在待加工工件进行回流工艺时，将待加工工件从基座上顶起并承载待加工工件；以及微波加热机构，设置于腔室内，微波加热机构包括移动单元和微波发射器，微波发射器与移动单元连接，移动单元用于在待加工工件完成溅射工艺且由顶针机构承载时，将微波发射器移动至待加工工件的下方，而加热待加工工件。本发明通过微波发射器产生微波，直接作用于待加工件内极性分子而加热待加工件，提高加热效率高，从而有效缩短回流工艺周期时间，提升生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 装置 | ||
【主权项】：
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