[发明专利]在硅CMOS堆叠体中集成III-V族晶体管在审
申请号: | 201911094591.2 | 申请日: | 2019-11-11 |
公开(公告)号: | CN111326484A | 公开(公告)日: | 2020-06-23 |
发明(设计)人: | G·杜威;T·卡姆嘎因;A·阿列克索夫;G·多吉阿米斯;H-J·李 | 申请(专利权)人: | 英特尔公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L25/07;H01L23/498 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 刘炳胜 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本文公开的实施例包括半导体器件和形成这种器件的方法。在一个实施例中,该半导体器件包括第一半导体层,其中在第一半导体层中制造第一半导体晶体管,以及在第一晶体管的上方的后端堆叠体。在一个实施例中,后端堆叠体包括电耦合到该第一晶体管的导电迹线和过孔。在一个实施例中,该半导体器件还包括在后端堆叠体上方的第二半导体层,其中第二半导体层是与第一半导体层不同的半导体。在一个实施例中,在第二晶体管被制造在第二半导体层中。 | ||
搜索关键词: | cmos 堆叠 集成 iii 晶体管 | ||
【主权项】:
暂无信息
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