[发明专利]基于滤波器的石英晶片的制备方法有效
| 申请号： | 201911096628.5 | 申请日： | 2019-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN110729981B | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 王天雄;王显波;周禄雄;饶绍兵 | 申请（专利权）人： | 四川省三台水晶电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/56 | 分类号： | H03H9/56 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 宋辉 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于滤波器的石英晶片的制备方法，选用Q值≥300万、低腐蚀隧道密度≤30条的石英原晶；石英原晶进行震荡切削，得到∮5.5mm的尺寸；晶片角度选取35°23′±30"，加工过程中，晶棒平磨角度控制在±3′以内，晶棒平面误差±0.02mm；切割后进行粗磨、改圆，然后晶片进行细磨；使用∮60mm的小直径筒，对晶片倒边，使晶片阻抗达到40Ω以内；晶片倒边后，使用氟化氢铵溶液恒温腐蚀，确保晶片频率集中，表面无花斑、无水印；对晶片进行角度筛选，确保晶片角度集中。本方法能有效的提高晶体参数一致性，使该系列产品可进行批产批量，并且得到产品性能较好。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 滤波器 石英 晶片 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.基于滤波器的石英晶片的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：/n(1)选用Q值≥300万、低腐蚀隧道密度≤30条的石英原晶；/n(2)石英原晶进行震荡切削，得到∮5.5mm的尺寸；/n(3)晶片角度选取35°23′±30"，加工过程中，晶棒平磨角度控制在±3′以内，晶棒平面误差±0.02mm；/n(4)切割后进行粗磨、改圆，然后晶片进行细磨；/n(5)使用∮60mm的小直径筒，对晶片倒边，使晶片阻抗达到40Ω以内；/n(6)晶片倒边后，使用氟化氢铵溶液恒温腐蚀，确保晶片频率集中，表面无花斑、无水印；/n(7)对晶片进行角度筛选，确保晶片角度集中。/n
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